项目负责人：郭阳

类别：四川省重点研发项目

来源：四川省科技厅

题目：微型显微镜高精度三维位移平台

经费：100万

项目简介：本项目主要是实现一个高精度的三方位微位移平台，计划采用新型高温压电陶瓷堆叠作为驱动部件，结合压电粘滑驱动机理实现大位移、大力矩；利用微小陶瓷滚珠作为引导，采用闭环反馈芯片控制策略提高设备的速度与精度；采用新型机电一体化技术，结合设备的紧凑设计实现设备的微型化；结合现代的物联网技术实现智能物联；同时研究抑制压电陶瓷迟滞特性和蠕变特性的控制办法。最终制作出大位移、高精度、低功耗、高速度、大载体的高智能位移平台。进一步，搭载其他设备可实现更多的应用，市场价值无可估量。